| Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响 |
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| 引用本文： | 王青,张海峰. Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响[J]. 河北师范大学学报(自然科学版), 2011, 35(6) |
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| 作者姓名： | 王青 张海峰 |
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| 作者单位： | 兰州理工大学理学院,甘肃兰州,730050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50873047); 甘肃省教育厅科研基金(0903-12) |
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| 摘 要： | 应用直流磁控溅射方法并结合原位退火工艺,在普通玻璃基片上制备了不同Fe掺杂的TiO2薄膜,沉积过程中保持基底温度300℃.实验结果表明,退火氛围及Fe的掺杂量对TiO2薄膜的结晶状态、微结构及形貌都有很大影响.真空中500℃下退火0.5 h的Fe-TiO2薄膜样品表现为非晶态结构,而空气中500℃下退火0.5 h的该样品则结晶状态良好;随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜样品逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 原位退火 Fe-TiO2薄膜 |
Influence of Fe-doping on Crystalline Structure Transition of TiO_2 Films Materials |
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| WANG Qing,ZHANG Haifeng. Influence of Fe-doping on Crystalline Structure Transition of TiO_2 Films Materials[J]. Journal of Hebei Normal University, 2011, 35(6) |
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| Authors: | WANG Qing ZHANG Haifeng |
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| Affiliation: | WANG Qing,ZHANG Haifeng(School of Science,Lanzhou University of Technology,Gansu Lanzhou 730050,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering in-situ annealing Fe-TiO2 films |
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