固溶体技术用于AlN-SiC微波衰减材料改性 |
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引用本文: | 步文博,丘泰,徐洁,李晓云,沈春英. 固溶体技术用于AlN-SiC微波衰减材料改性[J]. 南京工业大学学报(自然科学版), 2002, 24(3): 10-14 |
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作者姓名: | 步文博 丘泰 徐洁 李晓云 沈春英 |
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作者单位: | 南京工业大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,210009 |
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基金项目: | 国防科工委重点科研项目 |
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摘 要: | 结合AlN-SiC二元系相图的理论分析,提出了利用固溶体技术实现AlN-SiC微波衰减材料性能优化的研究思路;采用热压烧结工艺,通过合理的烧结温度及保温时间的控制,制备了性能优异的AlN-SiC微波衰减材料。通过XRD、SEM、网络分析仪等测试手段,研究了材料的显微结构(晶粒尺寸和晶粒形状等)对材料微波衰减性能的影响。结果表明,AlN-SiC局部固溶体具有广频衰减特性,而AlN-SiC均质固溶体具有选频衰减特性;并初步探讨了AlN-SiC固溶体陶瓷的微波衰减机理。
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关 键 词: | AlN SiC 微波衰减 固溶体技术 半导体器件 优化改性 碳化硅 氮化铝 复相陶瓷 |
文章编号: | 1671-7643(2002)03-0010-05 |
修稿时间: | 2001-12-04 |
Modification of microwave attenuation of AlN-SiC with solid solution technique |
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Abstract: | |
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Keywords: | AlN SiC |
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