国家自然科学基金重大项目“先进电子制造中的重要科学技术、问题研究”取得突出进展

从制造原理与工艺角度看电子器件制造属于半导体物理和材料科学等学科的研究范畴，但其中存在着大量机械学科的研究课题，而在我国电子制造与机械装备制造两个领域的研究相互脱节，不利于电子制造基础理论和关键技术的源头创新和跨越式发展．为此，2001年底至2002年初，在有关院士专家的倡导下，国家自然科学基金委员会组织召开了多次研讨会，经反复调研和论证，于2002年底设立了重大项目“先进电子制造中的重要科学技术问题研究”．本着有限支持、重点突破的原则，将“超精抛光中纳米粒子行为和化学作用及平整化原理与技术”、“磁头、磁盘表面润滑规律和超薄保护膜的生长机理及技术”、“面向芯片封装的高加速度运动系统的精确定位和操纵”和“芯片封装界面制造过程多参数影响规律与控制”列为其中的4个重要研究课题，旨在针对硬盘驱动器（存储器）和IC（芯片级）制造中的关键科学问题开展基础理论和应用技术研究，建立起面向下一代先进电子制造的理论体系和原型系统，