| 微机电系统的科学研究与技术开发 |
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| 引用本文： | 丁衡高.微机电系统的科学研究与技术开发[J].清华大学学报(自然科学版),1997(9). |
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| 作者姓名： | 丁衡高 |
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| 作者单位： | 清华大学 |
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| 摘 要： | 着重论述了当前国际上微机电系统的相关基础理论研究、微机电系统制造工艺技术的发展、微机电系统发展动态与趋势，最后强调了探索适合我国国情的微机电系统发展途径的重要性。
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| 关 键 词： | 微机电系统（MEMS） 微机械 微惯性测量组合（MIMU） |
Research and development of micro electro mechanical systems |
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| Ding Henggao Tsinghua University,Beijing.Research and development of micro electro mechanical systems[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1997(9). |
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| Authors: | Ding Henggao Tsinghua University Beijing |
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| Institution: | Ding Henggao Tsinghua University,Beijing 100084 |
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| Abstract: | |
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