三维表面形貌测量系统中移动工作台的校准 |
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引用本文: | 单忠臣.三维表面形貌测量系统中移动工作台的校准[J].现代科技译丛(哈尔滨),1996(2):36-41. |
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作者姓名: | 单忠臣 |
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摘 要: | 以丝杠步进电机驱动和无刷式线性电机驱动的工作台为例,考察它们用于三维表面形貌测量系统中时,工作台的位移、速度特性以及动态稳定性、丝杠误差、间隙和定位可重复性,对三维表面数据的记录和特征化表征产生的影响,从而评价了这两种三维形和于静态和动态的数据采集的适用性。
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关 键 词: | 工作台 校准 三维表面形貌 测量系统 |
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