激光场强分布对类金刚石薄膜激光损伤阈值的影响 |
| |
作者姓名: | 吴慎将 施卫 苏俊宏 |
| |
作者单位: | 西安理工大学理学院;西安工业大学光电工程学院 |
| |
基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(60978040,60878032) |
| |
摘 要: | 采用非平衡磁控溅射技术,在双面抛光的硅基底上沉积了DLC薄膜,基于ISO11254-1损伤测试平台对DLC薄膜进行了损伤阈值测试;计算了DLC薄膜激光场强及温度场分布,对比了激光场强与损伤阈值的关系。计算结果显示:薄膜表面激光场强增大,DLC薄膜的激光损伤阈值变低;激光场强相等时,随着薄膜厚度增加,激光损伤阈值变小。分析认为:薄膜表面激光场强增大后,激光与DLC薄膜相互作用,产生的等离子体加剧薄膜对激光能量的吸收并产生热累积,激光场强诱导sp3杂化向sp2杂化转变,致使DLC薄膜发生石墨化,从而影响了DLC薄膜的激光损伤阈值。
|
关 键 词: | 类金刚石薄膜 激光场强 损伤阈值 等离子体吸收 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|