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| 极端测量 | |
| 引用本文： | 刘道军.极端测量[J].世界科学,2002(4):36-36. |
| 作者姓名： | 刘道军 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 平版印刷术使用了极端紫外线 ,使芯片制造商能 在更长的一段时间内保持跟摩尔定律与时俱进的势 头 |
| 关 键 词： | 芯片制造 物理极限 极端测量技术 极端紫外平版印刷技术 |
极端测量 |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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