| 可编程相位光栅的结构设计与制作工艺 |
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| 引用本文： | 殷玲,陈非凡.可编程相位光栅的结构设计与制作工艺[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(8):1009-1012. |
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| 作者姓名： | 殷玲 陈非凡 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69978008)，教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目 |
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| 摘 要： | 可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变。通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构;并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率;设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为4mm×6mm,有效工作部分的面积约为4mm×2mm.
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| 关 键 词： | 光谱分析 微光机电系统 微机电系统 可编程相位光栅 表面微工艺 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)08-1009-04 |
| 修稿时间： | 2002年9月9日 |
Design and fabrication of programmable phase grating structures |
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| YIN Ling,CHEN Feifan.Design and fabrication of programmable phase grating structures[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(8):1009-1012. |
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| Authors: | YIN Ling CHEN Feifan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | spectral analysis micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS) micro-electro-mechanical systems (MEMS) programmable phase grating surface micro-machining |
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