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| 一种高压大电流半导体放电管的研究 | |
| 作者姓名： | 唐政维 向导 张盼盼 |
| 作者单位： | 重庆邮电大学 光电工程学院,重庆400065;重庆邮电大学 光电工程学院,重庆400065;重庆邮电大学 光电工程学院,重庆400065 |
| 基金项目： | 重庆市科委科技攻关计划项目（CSTC, 2010AC2142） |
| 摘 要： | 针对常规半导体放电管在超大浪涌电流作用下,易局部过热而损坏这一问题,采用镓闭管扩散代替硼扩散、台面工艺解决二氧化硅不能掩蔽镓扩散所带来的问题、玻璃钝化工艺实现高压结面保护等方法。实验结果表明,通过镓扩散、台面刻槽、玻璃钝化和钛镍银多层金属化等工艺,提高了放电管的启动保护电压和最大浪涌电流,其最大浪涌电流达到6 kA,比设计值5 kA提高了20%。 |
| 关 键 词： | 高压大电流 半导体放电管 镓扩散 台面工艺 玻璃钝化 |
| 收稿时间： | 2012-04-06 |
| 修稿时间： | 2013-03-05 |
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