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靶形对溅射薄膜厚度均匀性影响的研究

引用本文：	张苏淮,魏文忠.靶形对溅射薄膜厚度均匀性影响的研究[J].武汉大学学报(自然科学版),1992(3):43-47.

作者姓名：	张苏淮魏文忠

摘要：
关键词：	溅射膜厚均匀性阴极靶靶形
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