| 液态金属离子源与聚焦离子束的研制进展 |
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| 引用本文： | 王克礼,张化一.液态金属离子源与聚焦离子束的研制进展[J].清华大学学报(自然科学版),1987(6). |
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| 作者姓名： | 王克礼 张化一 |
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| 作者单位： | 现代应用物理系
(王克礼)，现代应用物理系(张化一) |
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| 摘 要： | 为了适应大规模集成器件制作工艺发展的需要，开展了液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和聚 焦离子束（ＮＢ）的研究。研制成针型、同轴针型与毛细管型的镓与金ＬＭＩＳ，Ａｕ－Ｓｉ、Ａｕ－ Ｓｉ－Ｂｅ与 Ｐｄ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｂｅ－Ｂ三种共晶合金型 ＬＭＩＳ：研究了带有控制栅极的 ＬＭＩＳ的控 制性能；编制了计算聚焦离子枪所需的程序；制成三种型式的聚焦离子枪并获得０．１μｍ 直径的聚焦离子束；制成扫描离子显微镜（ＳＩＭ）；初步开展了刻蚀试验。
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| 关 键 词： | 液态金属离子源 聚焦离子束 能散 亮度 扫描离子显微镜 |
Progress in the Research of Liquid Metal Ion Source and Focused Ion Beam |
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| Wang Keli, Zhang Huayi.Progress in the Research of Liquid Metal Ion Source and Focused Ion Beam[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),1987(6). |
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| Authors: | Wang Keli Zhang Huayi |
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| Institution: | Department of Modern Applied Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | liquid metal ion source focused ion beam energy spread brightness scanning ion microscope |
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