| 双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响 |
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| 引用本文： | 郭锐,肖诗洲,刘剑锋,黄文浩. 双光子三维微细加工重复率对表面形貌的影响[J]. 中国科学技术大学学报, 2008, 38(5): 553-557 |
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| 作者姓名： | 郭锐 肖诗洲 刘剑锋 黄文浩 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 中国科学院院长奖启动基金 |
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| 摘 要： | 飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光、CAD／CAM、光化学材料等技术于一体的新型加工方法，它采用单点扫描累积成型，由点成线，由线成面进行加工．要得到精细的三维微器件，不仅需要高加工分辨率，还须选用合适的扫描步距．我们采用不同重复率工艺参数进行实验，并对得到的表面质量进行了分析，优化了微器件加工的重复率参数．还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理，对重复率影响表面质量进行了仿真．加工系统采用飞秒激光光源：脉宽为80fs，中心波长为800nm，重复频率为80MHz，输出功率为400mW；使用数值孔径（NA=1．25）浸油物镜聚焦；三维扫描使用PZT移动台；材料是新型聚丙烯类S-3负性光刻胶．实验中采用步距0．1，0．2，0．3，0．4μm得到不同平面，并测得其表面粗糙度，分析了重复率对微器件表面质量的影响．
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| 关 键 词： | 双光子激发 三维微细加工 重复率 粗糙度 飞秒激光 双光子 三维微细加工 重复率 表面形貌 影响 micro fabrication photon surface roughness degree overlapping 微器件 表面粗糙度 不同平面 负性光刻胶 聚丙烯 材料 移动台 三维扫描 聚焦 物镜 |
| 文章编号： | 0253-2778(2008)05-0553-05 |
| 修稿时间： | 2006-10-15 |
Effect of overlapping degree on surface roughness in two photon micro fabrication |
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| GUO Rui,XIAO Shi-zhou,LIU Jian-feng,HUANG Wen-hao. Effect of overlapping degree on surface roughness in two photon micro fabrication[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2008, 38(5): 553-557 |
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| Authors: | GUO Rui XIAO Shi-zhou LIU Jian-feng HUANG Wen-hao |
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