磁控溅射法制备非晶碳膜及其光学特性

利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜，研究了溅射功率和基片温度对所沉积薄膜的的影响，对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫外光谱进行表征，所沉积的类金刚石碳薄膜是簇状分布的ＳＰ＾２碳键和网状分布的ＳＰ３碳键互相随机交织的一起的非晶 研究了非晶碳膜的光学性质和电学性质，探索了制备各种不同带隙非晶碳膜的工艺条件，为该类的实际应用提供了可靠的实验依据。