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双离子束法沉积类金刚石膜的耐腐蚀特性
引用本文:李梦轲,王成伟,李元旦. 双离子束法沉积类金刚石膜的耐腐蚀特性[J]. 西北师范大学学报(自然科学版), 1992, 0(3)
作者姓名:李梦轲  王成伟  李元旦
作者单位:西北师范大学物理学系(李梦轲,王成伟),西北师范大学物理学系(李元旦)
摘    要:对双离子束法在K_q玻璃上制备DLC膜的耐酸碱溶液和有机溶剂腐蚀特性进行了研究,给出了不同制备参数对膜层耐腐蚀特性的影响,并对腐蚀机理进行了探讨。

关 键 词:膜层  腐蚀  离子束

Corrosion-resistance of Diamond-like Carbon Films Deposited by Dual Ion Beam Method
Li Mengke,Wang Chengwei,Li Yuandan. Corrosion-resistance of Diamond-like Carbon Films Deposited by Dual Ion Beam Method[J]. Journal of Northwest Normal University Natural Science (Bimonthly), 1992, 0(3)
Authors:Li Mengke  Wang Chengwei  Li Yuandan
Affiliation:Li Mengke;Wang Chengwei;Li Yuandan Department of Physics
Abstract:Corrosion-resistance to acid and alkali and oragnic solvents of DLC films depositedby dual ion beam method on K_q glasses is studied. The influences of different depositing datato corrosion-resistance is reported and the reason of corrosion are discussed.
Keywords:film later  corrosion  ion beam
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