一种铁电电容器的制法

本发明介绍一种改进的铁电电容器及其制法。 电容器在集成电路中应用很广,现在常用的是以二氧化硅作绝缘介质隔开两片电极构成的电容器。这种电容器一旦需要缩小其体积就会使电容量减小,致使充电次数增多。而铁电介质的介电常数