| 基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计 |
| |
| 引用本文： | 杨晓东,柳森娟,刘锋敏.基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计[J].科技情报开发与经济,2009,19(31):117-120. |
| |
| 作者姓名： | 杨晓东 柳森娟 刘锋敏 |
| |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024 |
| |
| 基金项目： | 基金项目:电子预研项目(项目 |
| |
| 摘 要： | 磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用。
|
| 关 键 词： | 磁控溅射镀膜技术 可编程控制器 工控机 |
Design of the Control System of Vacuum Magnetron Sputtering & Coating Equipment Based on Industrial Computer and PLC |
| |
| YANG Xiao-dong,LIU Sen-juan,LIU Feng-min.Design of the Control System of Vacuum Magnetron Sputtering & Coating Equipment Based on Industrial Computer and PLC[J].Sci-Tech Information Development & Economy,2009,19(31):117-120. |
| |
| Authors: | YANG Xiao-dong LIU Sen-juan LIU Feng-min |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
