对He等惰性气体诱导解吸CO过程的理论研究 |
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引用本文: | 张彤,毛福明.对He等惰性气体诱导解吸CO过程的理论研究[J].东南大学学报(自然科学版),1999,29(4). |
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作者姓名: | 张彤 毛福明 |
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作者单位: | 东南大学电子工程系 |
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摘 要: | 在静态进样的质谱分析中,当惰性气体引入真空系统后,原壁面吸附的CO气体被快速解吸出来.极限真空为10μPa的不锈钢真空系统充入He,Ne或Ar后,CO的解吸速度比未充气时提高8倍,H2和CH4的解吸速度更快.本文从吸附的位势理论出发,对CO气体的快速解吸过程进行了理论分析,这种诱导解吸作用有可能用于研究真空装置内某些吸气体的快速除气,采用预充气法提高充气器件内气体的纯度和采用热封离法提高真空器件内的真空度等措施均基于这个原理.
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关 键 词: | 吸附 脱附 位势 |
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