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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
基于广义线性模型的晶圆缺陷数据建模及仿真
作者姓名:
贾玉洁
李静
刘彦利
作者单位:
天津大学管理与经济学部
基金项目:
国家自然科学基金项目(71672122);
摘 要:
晶圆缺陷数据是具有相邻空间关系的二维空间离散数据,通常会表现出一定的空间相关性。为了研究这类数据的空间分布和空间结构对空间信息的影响,以具体晶圆缺陷数据为例,基于泊松分布建立广义线性混合模型,并对空间相关项的协方差进行3种不同的空间建模,利用蒙特卡洛牛顿拉弗森算法进行估参,其中引用Metropolis-Hastings算法对空间相关项进行抽样。借助AIC指标,说明广义线性混合模型能够很好地模拟晶圆缺陷数据的分布特征,而且针对晶圆缺陷数据分布的稀疏程度,可调整模型从而得到更好的拟合效果。
关 键 词:
晶圆缺陷数据
广义线性混合模型
Metropolis-Hastings抽样
蒙特卡洛牛顿拉费森算法
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