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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
非晶碳氮薄膜的X射线光电子能谱研究
作者姓名:
倪静
郝希平
李立本
李小红
吴卫东
作者单位:
倪静,郝希平,李立本,李小红,NI Jing,HAO Xi-ping,LI Li-ben,LI Xiao-hong(河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003);吴卫东,WU Wei-dong(中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900)
基金项目:
国家高技术研究发展计划(863计划)
摘 要:
采用空心阴极等离子体化学气相沉积法,在甲烷一氨气、氢气混合气体体系下,制备出了非晶碳氮薄膜。利用原子力显微镜(AFM)及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的表面形貌、成分及微观结构进行了测试和表征。结果表明,薄膜的表面光滑、致密,均方根粗糙度小于0.5nm;薄膜中的氮含量随NH3(H2)流速的增加呈现降低的趋势,sp^2C—N及sp^3C—N键含量均随氮含量的增加而增加。
关 键 词:
非晶碳氮薄膜
X射线光电子能谱
氮含量
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