| 非晶碳氮薄膜的X射线光电子能谱研究 |
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| 引用本文： | 倪静,郝希平,李立本,李小红,吴卫东.非晶碳氮薄膜的X射线光电子能谱研究[J].新乡学院学报(自然科学版),2009,26(4):32-35. |
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| 作者姓名： | 倪静 郝希平 李立本 李小红 吴卫东 |
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| 作者单位： | 倪静,郝希平,李立本,李小红,NI Jing,HAO Xi-ping,LI Li-ben,LI Xiao-hong(河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003);吴卫东,WU Wei-dong(中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900) |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 采用空心阴极等离子体化学气相沉积法，在甲烷一氨气、氢气混合气体体系下，制备出了非晶碳氮薄膜。利用原子力显微镜（AFM）及X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的表面形貌、成分及微观结构进行了测试和表征。结果表明，薄膜的表面光滑、致密，均方根粗糙度小于0．5nm；薄膜中的氮含量随NH3（H2）流速的增加呈现降低的趋势，sp^2C—N及sp^3C—N键含量均随氮含量的增加而增加。
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| 关 键 词： | 非晶碳氮薄膜 X射线光电子能谱 氮含量 |
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