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| 渤海大学大型仪器简介 | |
| 作者单位： | 渤海大学新能源学院; |
| 摘 要： | 正铜铟镓硒薄膜太阳能电池共蒸发系统仪器英文名:CIGSe solar cell coevaporation System规格型号:MBE060CB01制造商:中国科学院沈阳科学仪器有限公司产地:中国主要技术指标:1、超高真空获得:极限真空度6.6×10~(-8)Pa;真空室检漏率小于5×10~(-8)Pa·L/s;短时间暴露大气并充干燥氮气抽至5×10~(-4)Pa,小于40分钟。2、分子束源炉:设备共安装5个分子束源炉,加热器材料选用Φ1高纯钽丝,支撑骨架和绝缘件选氮化硼件成型,加热器四周和底部有多层热屏蔽层。控温器选用日本产品,有计算机通讯接口。测 |
| 关 键 词： | 仪器简介 热屏蔽层 铜铟镓硒 薄膜太阳能电池 束源 超高真空获得 渤海大学 绝缘件 日本产品 共蒸发 |
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