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陶瓷内球面薄膜均匀镀复技术及专用工装
摘 要:
采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术,在高纯氧化铝陶瓷内球面上,镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜,作为某装置内电极。
关 键 词:
氧化铝陶瓷
镀膜技术
内球面
专用工装
镀复
均匀
离子束辅助沉积
金属复合膜
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