| 喷涂热分解法制备SnO2·F薄膜及其光电性能研究 |
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| 引用本文： | 肖功利,杨宏艳. 喷涂热分解法制备SnO2·F薄膜及其光电性能研究[J]. 广西科学院学报, 2005, 0(S1): 1-4 |
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| 作者姓名： | 肖功利 杨宏艳 |
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| 作者单位： | 桂林电子工业学院通信与信息工程系, 广西桂林 541004,桂林电子工业学院计算机系, 广西桂林 541004 |
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| 摘 要： | 以SnCl4·5H2O和NH4F为原料,用喷涂热分解法在石英玻璃上制备SnO2·F薄膜。采用X光电子能谱分析仪(XPS)和X光衍射仪(XRD)分别表征SnO2·F薄膜的成分和晶体结构,研究了F-的掺杂量和热处理对薄膜方块电阻、可见光区透射率和红外光区反射率的影响。实验结果表明,用本次实验的配方,衬底温度TS大致450℃,喷涂时间为15s时,薄膜的方块电阻R□为0.2~4kΩ/□,可见光透过率达T≈80%和红外光反射率R≈80%以上。样品在O2及N2气氛中进行一定温度范围的退火处理后,其电阻率上升。
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| 关 键 词： | 薄膜 掺氟二氧化锡 制备 光电性能 喷涂热分解 |
| 收稿时间： | 2005-09-05 |
Study on Preparation and Photoelectric Property of Fluorine-doped Tin Oxide Thin Films by Spray Pyrolysis Process |
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| Xiao Gongli and Yang Hongyan. Study on Preparation and Photoelectric Property of Fluorine-doped Tin Oxide Thin Films by Spray Pyrolysis Process[J]. Journal of Guangxi Academy of Sciences, 2005, 0(S1): 1-4 |
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| Authors: | Xiao Gongli and Yang Hongyan |
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| Affiliation: | Dept. of Communications and Info. Tech., Guilin Univ. of Electricns Tech., Guilin, Guangxi, 541004, China and Dept. of Comp., Guilin Coll. of Electricns Tech., Guilin, Guangxi, 541004, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | film fluorine-doped tin dioxide preparation electric property spray pyrolysis |
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