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| 快速CVD过程中球状热解碳的形成机制 | |
| 引用本文： | 罗瑞盈,金志浩.快速CVD过程中球状热解碳的形成机制[J].西安交通大学学报,1998,32(2):46-47,61. |
| 作者姓名： | 罗瑞盈 金志浩 |
| 作者单位： | 西安交通大学 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,航空科学基金 |
| 摘 要： | 探讨了快速化学气相沉积（ＣＶＤ）过程中球状热解碳的形成机制，实验发现，当沉积温度９５０℃，炉压６．６ｋＰａ，沉积气体流量小于０．１ｍ＾３／ｈ时，形成层状热解碳，而沉积气体流量为０．４～０．８ｍ＾３／ｈ形成球状热解碳，热解碳形貌随工艺条件的变化是碳沉积前过饱和度变化的结果。 |
| 关 键 词： | 快速CVD 球状热解碳 形成机制 复合材料 |
Formation Mechanism of Spherical Pyrolytic Carbon in Process of Rapid CVD |
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| Abstract: | |
| Keywords: | rapid CVD spherical pyrolytic carbon formation mechanism |
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