| 多晶硅压阻压力传感器的研制 |
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| 引用本文： | 陈怀溥 罗新宝. 多晶硅压阻压力传感器的研制[J]. 西北大学学报(自然科学版), 1992, 22(2): 153-156,162 |
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| 作者姓名： | 陈怀溥 罗新宝 |
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| 作者单位： | 西北大学物理系，西北大学物理系，西北大学物理系，西北大学物理系，西安630研究所 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 传感器 半导体 多晶硅 压力传感器 |
The Research and Production of the Polycstalline-Si Piezoresistive Pressure Sensor |
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| Chen Huaipu,Cao Zixiang,Wang Sije,Jin Zenglin. The Research and Production of the Polycstalline-Si Piezoresistive Pressure Sensor[J]. Journal of Northwest University(Natural Science Edition), 1992, 22(2): 153-156,162 |
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| Authors: | Chen Huaipu Cao Zixiang Wang Sije Jin Zenglin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sensor Research Production Semiconductor. |
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