| 微机电系统压力传感器抗干扰系统设计 |
| |
| 引用本文： | 冒晓莉,吴其宇,谢晓璐,张加宏.微机电系统压力传感器抗干扰系统设计[J].科学技术与工程,2021,21(36):15503-15508. |
| |
| 作者姓名： | 冒晓莉 吴其宇 谢晓璐 张加宏 |
| |
| 作者单位： | 南京信息工程大学 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（41605120） |
| |
| 摘 要： | 鉴于传统的硅基MEMS压阻式压力传感器普遍存在温度漂移和时间漂移误差,本文采用恒温控制和恒流源自校正方法针对上述问题设计和研究了一种MEMS压力传感器抗干扰系统。首先,简单介绍了传感器的各项参数和温漂、时漂原理。其次,设计并制作了传感器相关外部抗干扰电路。最后,对该系统进行实验测试。结果表明,抗干扰系统能减小传感器温漂和时漂误差,热零点漂移的绝对值由恒温前的0.0652%FS/℃降至恒温后的0.00788%FS/℃,热灵敏度漂移的绝对值由0.118%FS/℃降至0.0153%FS/℃,时漂补偿后预测误差由-3.436~0.875 kPa降低至-2.086~1.765 kPa。该设计对MEMS压力传感器温漂、时漂补偿等抗干扰方面的研究具有一定参考价值。
|
| 关 键 词： | MEMS压阻式压力传感器 抗干扰系统 温度漂移误差 时间漂移误差 |
| 收稿时间： | 2021/5/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/10/12 0:00:00 |
Design of Anti-Jamming System Based on MEMS Pressure Sensor |
| |
| Mao Xiaoli,Wu Qiyu,Xie Xiaolu,Zhang Jiahong.Design of Anti-Jamming System Based on MEMS Pressure Sensor[J].Science Technology and Engineering,2021,21(36):15503-15508. |
| |
| Authors: | Mao Xiaoli Wu Qiyu Xie Xiaolu Zhang Jiahong |
| |
| Institution: | School of Electronic and Information Engineering,Nanjing University of Information Science and Technology |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MEMS piezoresistive pressure sensor anti-interference system temperature drift error time drift error |
|
| 点击此处可从《科学技术与工程》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《科学技术与工程》下载免费的PDF全文 |
|
