准静态—高频c-v联合技术测量界面态的分布

本文介绍了用准静态—高频c-v联合技术测量界面态分布的原理。详细阐述了测量方法,给出几种典型样品中界面态密度在禁带中按能量的分布。对测量结果做了较详细的分析。