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| MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真 | |
| 引用本文： | 胡穆之,尤政,杨建中,张弛.MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真[J].系统仿真学报,2009,21(9). |
| 作者姓名： | 胡穆之 尤政 杨建中 张弛 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)部分资助 |
| 摘 要： | 设计了一种基于洛仑兹力原理的水平谐振式磁强计.该磁强计利用了通电导线感应磁场强度并转化为电容值的方法进行检测,具有较高的灵敏度,结构相对简单,加工难度较小.建立了敏感元件的力学模型,推导了系统刚度、挠度、谐振频率和敏感度公式,并进行了有限元仿真,仿真结果与理论计算的挠度和谐振频率相吻合,验证了该方案的可行性和理论模型的合理性. |
| 关 键 词： | 磁强计 谐振 微机电系统 建模 仿真 |
Modeling and Simulation of MEMS Surface Resonant Magnetometer |
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| Abstract: | |
| Keywords: | magnetometer resonant MEMS modeling simulation |
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