浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定 |
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引用本文: | 肖劲戈.浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定[J].中国西部科技,2011,10(10):1-4. |
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作者姓名: | 肖劲戈 |
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作者单位: | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司,四川,成都,610021 |
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摘 要: | 对于代表目前集成电路制造最高水平的12英寸生产线,其清洁生产指标的确定往往由于所处行业的高速发展,目前尚处于一个积累经验和探索发展的阶段而成为一个难点。本文拟笔者在对该类项目设计和环评实际工作的基础上,以一个在建的典型的12英寸生产线为案例,通过制作全厂水量平衡图,分析其用水特点与节水措施,就如何确定清洁生产指标进行了探讨。
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关 键 词: | 集成电路 芯片 清洁生产 节水 |
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