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| 高TCR薄膜温度传感器的研究 | |
| 引用本文： | 凌志远,周洪仁,刘秀蓉.高TCR薄膜温度传感器的研究[J].华南理工大学学报(自然科学版),1993(3). |
| 作者姓名： | 凌志远 周洪仁 刘秀蓉 |
| 作者单位： | 华南理工大学无机材料系，成都电子科技大学15系，成都电子科技大学15系 |
| 摘 要： | 本文作者利用镍金属的优良特性,通过特定的工艺处理和控制,研制出了性能价格比高的薄膜温度传感器,其使用温区为-50～250℃;TCR 可达5900(10~(-6) /℃);线性度为±2. 13%;响应时间≤0. 2秒;电阻值为100～150Ω并可调整。 |
| 关 键 词： | 镍 薄膜 热处理 厚度 线性/薄膜温度传感器 |
AN INVESTIGATION OF HIGH TCR THIN FILM TEMPERATURE SENSOR |
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| Ling Zhiyuan Zhou Hongren Liu Xiurong.AN INVESTIGATION OF HIGH TCR THIN FILM TEMPERATURE SENSOR[J].Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition),1993(3). | |
| Authors: | Ling Zhiyuan Zhou Hongren Liu Xiurong |
| Abstract: | |
| Keywords: | Nickel thin films heat treatment thickness linear/thin film temperature sensor |
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