华东师范大学成果推介

高性能薄膜材料的多功能等 离子体系统开发 通过对各种薄膜材料的生长方法、制备过程等进行系统的研究总结,华东师范大学开发成功了具有多种功能的具有优良性价比的多功能等离子体沉积系统,将磁控溅射、等离子体化学气相沉积、过滤阴极电弧、等离子体表面处理等功能有机地结合起来,从而解决了不同薄膜材料需用不同的制备方法等的关键工艺问题,并用于各种薄膜材料的沉积,处理等。