| n型Si接触电极系统研究 |
| |
| 引用本文： | 李健 刘亚军. n型Si接触电极系统研究[J]. 内蒙古大学学报(自然科学版), 1995, 26(5): 562-566 |
| |
| 作者姓名： | 李健 刘亚军 |
| |
| 作者单位： | 内蒙古大学物理学系，内蒙古太阳能源设备厂 |
| |
| 摘 要： | 用电子束蒸发方法，在ｎ型硅上制作不同的复合金属－ｎ型硅接触系统。对接触系统的接触电阻、机械牢固度、稳定性进行了试验，实验结果表明，Ｍｇ／Ａｌ－ｎＳｉ接触系统具有很低的接触电阻，其比电阻为１．４×１０－６Ω·ｃｍ￣２，并且有良好的机械牢固度，耐高温冲击和高温环境的侵蚀。
|
| 关 键 词： | 接触电极系统 电子束蒸发 光刻 硅太阳能电池 |
An Investigation of n-Type Si Contact Electrode |
| |
| Li Jian Liu Yajun. An Investigation of n-Type Si Contact Electrode[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol, 1995, 26(5): 562-566 |
| |
| Authors: | Li Jian Liu Yajun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | n-type contact electrode system electron beam evaporation photo-etching |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
