|
|||||
|
|
| 基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究 | |
| 引用本文： | 张鸿海,曹传,师汉民,陈日曜.基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),1996(4). |
| 作者姓名： | 张鸿海 曹传 师汉民 陈日曜 |
| 摘 要： | 介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的ｎｍ级三维轮廓仪．其纵向分辨率可达００２ｎｍ，横向分辨率可达０２ｎｍ，扫描范围分别达到４０μｍ×４０μｍ和１４０μｍ×１４０μｍ．可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行ｎｍ级的超微观形貌检测与分析．还给出了高定向石墨表现原子图像及一些超精密表面的超微观形貌测量的结果 |
| 关 键 词： | 超精密测量 nm级形貌 隧道效应 宽扫描范围 nm级三维轮廓仪 |
A Three Dimensional Profiler of Nanometer Level Based on Tunneling |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | ultraprecision measurement morphology of nm level tunneling wide range scanning 3 D profiler of nanometer level resolution |