全息光栅耦合器(摘要)

把光耦合进入薄膜光波导是集成光学器件的首要问题。本文报导了在离子交换光波导上沉积AZ-135光致抗蚀剂,用4880A°的氦镉激光器作光源,经滤波、扩束、分光在波导上以34°角相干曝光而制得全息光栅耦合器。我们已观察到在掩埋的光波导中沿着指定方向传输指定模式的光波。