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| 学术动态 | |
| 摘 要： | 高精高稳高温压力传感器研制项目通过陕西省科技厅鉴定我校物理学系万云副教授主持的陕西省科技研究发展(攻关)计划(2001K06-G18)资助项目——高精高稳高温压力传感器研制项目,于2005年5月13日顺利通过陕西省科学技术鉴定。鉴定委员会的7位专家认真听取了该项目的工作报告和技术报告,审查了产品测试报告等相关技术资料,一致认为该成果利用高稳定、耐高温、耐腐蚀氧化铝精细陶瓷等做弹性元件,采用薄膜技术、集成电路平面光刻工艺及超声压技术,来制作薄膜电阻应变式压力传感器,共开发5种不同规格的耐高温压力传感器,应用前景广泛,并建议与企… |
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