| 全息曝光条纹锁定研究与装置设计 |
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| 引用本文： | 李犇,汪啸.全息曝光条纹锁定研究与装置设计[J].中国科学技术大学学报,2012,42(12). |
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| 作者姓名： | 李犇 汪啸 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 |
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| 摘 要： | 全息曝光环节干涉条纹的稳定性对于潜像质量的高低有着直接的影响,进而影响掩模形貌和离子刻蚀后光栅的槽型.为了保证干涉条纹的稳定性,依据反馈控制的理论,构造闭环反馈控制回路,采用光电探测器进行误差信号(光信号)的提取,经过光-电转换,得到电信号,由于信号极其微弱,再先后通过前置放大,差动放大,积分电路,对所得误差信号进行处理,形成补偿信号,最后利用压电陶瓷进行电压-位移转换,利用转换出的位移信号对光路实施补偿.实验结果表明:该条纹锁定系统能够实时对光路稳定性进行良好的补偿控制,消除外界干扰带来的影响.
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| 关 键 词： | 条纹锁定 反馈控制 压电陶瓷 光栅 |
The fabrication of the locking device of interference fringes in holographic exposure |
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| LI Ben
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WANG Xiao.The fabrication of the locking device of interference fringes in holographic exposure[J].Journal of University of Science and Technology of China,2012,42(12). |
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| Authors: | LI Ben WANG Xiao |
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| Abstract: | |
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