| 用球面共焦Fabry—Perot干涉仪测量微振动 |
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| 引用本文： | 杨勇,王建林,等.用球面共焦Fabry—Perot干涉仪测量微振动[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2001,34(5):615-618. |
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| 作者姓名： | 杨勇 王建林 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密式技术及仪器国家实验室，天津300072 [2]北京化工大学信息科学与信息工程学院，北京100029 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金资助项目(963609811). |
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| 摘 要： | 介绍一种光学非接触测量超微振动的方法，利用球面共焦Fabry-Perot干涉仪设计了微振动测量系统，与传统的测量方法相比，该系统具有非接触，高灵敏度，高频响，高空间分辨率等特点，便于实现连续，快速，自动化检测，根据实验要求，设计了腔长0．5m，带宽5.9MHz的Fabry-Perot干涉仪，并组成测量系统，通过实验，检测出5MHz脉冲压电换能器产生的微振动波形，为了克服环境噪声对测量系统的影响，采用自动稳腔长的方法，使系统具有良好的稳定性。
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| 关 键 词： | 球面共焦Fabry－Perot干涉仪 微振动 稳腔长 非接触测量 测量系统 工人原理 |
| 文章编号： | 0493-2137(2001)05-0615-04 |
| 修稿时间： | 2000年5月29日 |
MICRO-VIBRATION MEASUREMENT USING FABRY-PEROT INTERFEROMETER |
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| YANG Yong ,CHEN Feng ,HU Xiao tang ,WANG Jian lin.MICRO-VIBRATION MEASUREMENT USING FABRY-PEROT INTERFEROMETER[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2001,34(5):615-618. |
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| Authors: | YANG Yong CHEN Feng HU Xiao tang WANG Jian lin |
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| Institution: | YANG Yong 1,CHEN Feng 1,HU Xiao tang 1,WANG Jian lin 2 |
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| Abstract: | This article presents an optical non contact method to measure micro vibration.It is an optical measuring system with a spherical Fabry Perot interferometer to detect the solid surface micro vibration.Compared with conventional methods,this system have many advantages,such as non contact,sensitivity,high bandwidth,high spatial resolution,and so on.It is easy to realize rapid scanning and automatic measurement.A 5 MHz micro vibration waveform can be monitored with this system.The optical feedback system is used to adjust the cavity length of interferometer in order to eliminate interferences. |
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| Keywords: | spherical Fabry Perot interferometer micro vibration adjustment of cavity length |
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