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DCS控制系统在多晶硅合成装置中的设计及应用
引用本文:周龙,佟志强.DCS控制系统在多晶硅合成装置中的设计及应用[J].石河子科技,2012(4):18-19,22.
作者姓名:周龙  佟志强
作者单位:特变电工新疆硅业有限公司
摘    要:简述了氯化氢合成的工艺流程。介绍了DCS系统的硬件和软件情况、CS3000的特点、DCS在氯化氢合成和输送控制系统的设计、应用、实施效果。

关 键 词:DCS技术  氯化氢合成和输送  控制
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