| 石英薄膜热传导尺寸效应研究 |
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| 引用本文： | 殷俊龄,刘新妹.石英薄膜热传导尺寸效应研究[J].太原师范学院学报(自然科学版),2003,2(4):63-65. |
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| 作者姓名： | 殷俊龄 刘新妹 |
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| 作者单位： | 1. 山西省机械电子厅,山西,太原,030002
2. 华北工学院,山西,太原,030051 |
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| 摘 要： | 对微米尺寸下的石英薄膜热传导尺寸效应进行了实验研究，结果表明：膜厚从微米数量级的尺寸开始，其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性，经由微观能量输运理论分析后，得到了实验与理论相吻合的结果。
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| 关 键 词： | 薄膜 输运理论 热传导 膜厚 尺寸效应 数量级 能量 吻合 分析后 实验研究 |
| 文章编号： | 1672-2027(2003)04-0063-03 |
| 修稿时间： | 2003年11月8日 |
Study of Size Effect of the Thermal Conduction for Silicon Dioxide Film |
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| Ying Junling,Liu Xinmei.Study of Size Effect of the Thermal Conduction for Silicon Dioxide Film[J].Journal of Taiyuan Normal University:Natural Science Edition,2003,2(4):63-65. |
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| Authors: | Ying Junling Liu Xinmei |
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| Institution: | Ying Junling 1 Liu Xinmei 2 |
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| Abstract: | The thermal conduction size effect along surface layer of micrometer scale SiO2 film is studied. The result indicates that the conductivity of the film begin to show clear size effect. The experiment result is as well as the analysis result by analyzing microscale energy transport. |
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| Keywords: | Silicon Dioxide Film thermal conductivity Size Effect |
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