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波长计分为斐索于涉型、法布里-珀罗干涉型和迈克尔逊干涉型3种。详细阐述了各种波长计的测量原理和研究现状,比较了它们的异同,其中迈克尔逊于涉型波长计测量精度最高。 相似文献
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