用栅板剪切干涉法确定应力强度因子

本文介绍了一种用栅板剪切干涉法确定应力强度因子的新方法,阐明了该方法的基本原理与实验技术,通过三点弯曲梁确定了Ⅰ型裂纹应力强度因子,实验结果与理论上近似计算结果相符合。     

利用非相干光制造凹面衍射光栅

本给出利用非相干照明光栅干涉仪制造凹面衍射光栅的基本原理和方法，并报告初步实验结果。     

用玻尔理论测量普朗克常数

提出用玻尔氢原子理论测量普朗克常数的原理和测量结果。     

光栅散射的电磁场计算

本文基于严格的电磁场理论,推导出计算各种材料光栅表面散射问题的新方法。     

热膨胀系数测定新方法

提出了一种测量材料热膨胀系数的新方法。此方法以云纹干涉原理及微机技术为基础,使用液体恒温,在常温状态下即可高精度地测限材料的热膨胀系数ａ值。     

环形光栅OSH系统的光学传递函数

菲涅尔波带板条纹间隔中间稀，边缘密，环形光珊稀密程度均匀，自相关特性更接近δ函数，采用环形光栅扫描能产生扫描全息图．根据线性系统理论得到环形光栅像强度分布函数的付里叶变换．     

弯曲对长周期光纤光栅透射特性的影响

讨论了长周期光纤光栅弯曲时引起的波导弯曲、光纤截面变形和纤芯折射率分布改变等对其透射特性的影响。用等效直倾斜二次方啁啾的长周期光纤光栅理论,分析研究了光栅轴向倾斜对长周期光纤光栅透射特性的影响,给出了等效光栅的周期、啁啾系数的近似公式,用传输矩阵方法进行了数值计算。     

压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

三维云纹干涉法在PMMA材料特性分析中的应用

对云纹干涉法的原理、方法及实验系统进行了简要介绍,并利用三维云纹干涉仪实时测量了有机玻璃(PMMA)在三点弯曲时的三维位移场。对变形三维云纹图进行了分析,得出了三维应变分布图。     

数字光栅测振传感器性能分析与测试

为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动态模型.实验证明,光栅测振传感器分辨力可达0.025μm,动态频率误差小于1.5%,振幅误差小于3.8%.