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多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术,我们以多孔硅为牺牲层,利用多孔硅的选择性生长机理,以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点,得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构,并设计研制了一种绝热式量热传感器。 相似文献
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