氩离子腔内倍频紫外连续激光器

本文从讨论培频效率入手,分析了影响倍频效率的原因,给出BBO晶体氩离子腔内培频紫外激光器的设计方案,制作了激光器,并得到了紫外激光输出。     

上海部分地区大气粉尘微粒的电子能谱研究

应用光电子能谱技术和俄歇电子能谱技术对上海市杨浦区、长宁区、黄浦区、西郊地区、上钢一厂和上钢三厂等六处上空的粉尘微粒进进了研究。得出了粉尘污物的表面化学组成和化学状态。又结合惰性气体氩离子(Ar~+)的溅射刻蚀技术,获得了一些元素在粉尘微粒表面上呈现的富集现象。升温热解吸研究又指出了某些元素对应的化合物在微粒表面上的挥发性能.     

Ar~+激光诱导淀积多晶硅精细线条

以聚焦的A_r~+激光束诱导多晶硅膜的淀积,在可移动的反应器上实现了宽度小于激光束径的多晶硅精细线条的直接书写。这可以视为VLSI的一种新的布线工艺的雏形。     

后注Ar^＋对高能注P^＋硅中二次缺陷的影响

用剖面的电子显微术(XTEM)研究了后注Ar~+对高能注P~+硅中二次缺陷的影响。结果表明,后注Ar~+像后注Si~+一样能够减少高能注P~+硅中的二次缺陷。但这种效果与退火过程密切相关,退火应该在后注Ar~+之后,而不是在其之前。实验还发现,在适当退火条件下,后注Ar~+产生的新二次缺陷比后注Si~+产生的要少一些。物理机制分析认为,后注Ar~+减少二次缺陷的物理机制与后注Si~+的是相似的。