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利用微电铸制作镍悬臂梁 总被引:1,自引:0,他引:1
为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细梁的铸层最薄.实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象. 相似文献
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采用SEM,TEM和EBSD研究了电铸Cu的微观组织形貌、晶粒取向和晶界特征.SEM观察表明,沿沉积方向,组织由细小等轴晶区、等轴晶和柱状晶的混合晶区转变为粗大柱状晶区.EBSD分析表明,对于所有晶区,小角度晶界(15°)的分布频率较小,大角度(≥15°)晶界为电铸Cu组织的主要晶界.在大角度晶界中,CSL晶界占有很大比例,其中Σ3的分布频率较大.柱状晶由平行分布的层状孪晶构成,近似垂直于沉积厚度方向,层间孪晶界为Σ3类型,TEM的观察也显示了孪晶的存在.细等轴晶区晶粒的择优取向不明显,混合晶区和粗柱状晶区有明显的〈111〉和〈101〉择优取向.在粗柱状晶区,平行于沉积厚度方向,具有较强的〈111〉择优取向,表明大多数{111}孪晶面垂直于沉积厚度方向. 相似文献
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左伟 《四川理工学院学报(自然科学版)》2009,22(6):95-97
电铸是一种在芯模上电沉积金属,然后使两者分离,来制取零件的工艺。电铸具有很高的复制精度和重复精度,适合制造具有复杂形状,精细型貌等特征的金属零件。电铸工艺很大程度上决定了铸层的组织结构和物理特性。文章分析了电流和添加剂对电铸层表面形貌的影响,铸液中添加剂对基质金属铜的晶粒的明显细化作用。 相似文献
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提出一种力学-电沉积技术,在未添加任何光亮剂和晶粒细化添加剂的情况下制备出表面平整光亮的纳米晶镍沉积层。与传统电沉积技术的对照实验表明,硬质粒子在镍的沉积过程中不停磨擦和扰动阴极表面及附近溶液,能有效阻止氢气泡和杂质的吸附,避免凹坑、麻点和积瘤等表面缺陷产生。通过SEM,XRD和TEM观察和性能测试发现,硬质粒子的磨擦作用能改变沉积层的组织结构,进而影响其性能。与传统技术所制备的沉积层相比,用本文所述技术在相同条件下所制备镍沉积层的晶粒显著细化,尺寸大约30-80nm;各晶面的衍射强度和(200)面的择优取向度明显减小,(111)面和(220)面择优取向度增加;显微硬度显著提高;磁性能明显改变,饱和磁化强度减小,矫顽力增大。用力学-电沉积技术所制备镍沉积层的微观结构和性能受阴极转速和电流密度的影响。 相似文献
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金海青 《江南大学学报(自然科学版)》1995,10(2):56-60
电铸法早已被用来加工某些形状复杂的小型模具的型腔。本文介绍了用非金属母模进行电铸加工的工艺,这种方法与常规的不锈钢母模电铸加工法相比,更为简便、快捷、成本也低。 相似文献
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毕林丽 《哈尔滨科学技术大学学报》1994,(4):48-50
介绍了制做木制件表面粗糙度比较样块的电铸和复模二种方法,并就采用的工艺及直接影响样块质量的技术问题进行了论述. 相似文献
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从激光全息术入手,阐述电铸制版在激光模压全息技术中的重要作用,以及制版的工艺流程,工艺配方,操作规范和模压板的性能指标。 相似文献