排序方式: 共有1条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
新梅 《大连民族学院学报》2001,3(3):7-9
通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性。 相似文献
1