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1.
2.
3.
ASM2000半导体外延设备,作为世界上硅外延材料领域的主流设备,在硅片传递过程中,以“正面、非接触式”模式,可较好地避免硅片表面缺陷的产生。在这种传递模式下,偶有硅片掉落现象发生,故障产生原因较多,造成问题处理效率低下、复机验证流程繁琐等现象。为提高机械手装取片故障处理的效率及成功率,文章将从硅片传递的工作原理开始分析,总结导致硅片掉落的可能原因,以供故障排查所用。 相似文献
4.
相对于max型表现外延,给出min型表现外延的定义,利用min型表现外延构造了概念关于因素的min型反馈外延.研究了min型反馈外延与概念外延以及复杂因素min型反馈外延与简单因素min型反馈外延之间的关系,得到了与min型反馈外延相关的一些重要性质.定义了min型反馈外延外包络,给出一种从概念外延"内部"对概念外延进行逼近的方法. 相似文献
5.
李洪兴 《北京师范大学学报(自然科学版)》1996,(4)
系统地研究因素空间理论及其在知识表示中的应用。介绍因素空间理论的基本思想,修改了原有的因素空间的公理化定义,提出了表达概念的基本工具--描述架,为建立知识表示的数学框架奠定了基础。 相似文献
6.
本文描述了应用于SiGe外延的分子束外延(MBE)、超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)、常压化学气相沉积(APCVD)、快速热化学气相沉积(RTCVD)等几种工艺及这几种工艺中的常见问题,并介绍了近来这些SiGe外延技术的改进,最后从器件角度对以上几种工艺特性进行了比较。 相似文献
7.
JinPing Wang YangBin Li Lin Kang Yu Wang YangYin Zhong Min Liang Jian Chen ChunHai Cao WeiWei Xu PeiHeng Wu 《科学通报(英文版)》2009,54(12):2013-2017
This paper describes the design and fabrication of superconducting hot electron bolometer (HEB) mixer based on ultra-thin superconducting NbN films. The high quality films were epitaxially grown on high resistance Si substrates. The device was fabricated by magnetron sputtering, electron beam lithography (EBL), reactive ion etching (RIE), lithography, and so on. The device's resistance-temperature (R-T) curves and current-voltage (I-V) curves were studied. The results of THz response of the device are presented. Y-factor technique was used to measure the device's noise temperature. When the device was irradiated with a laser radiation of 2.5 THz, the obtained lowest noise temperature of the device was 2213 K. 相似文献
8.
从符号学的角度出发去分析妈祖蔗塔符号的能指和所指及其丰富的内涵意义和外延意义;并从符号的释码角度去解读其在融合不同文化背景下受众认识差异中的独特表现,挖掘其在跨文化交流中阐释和表达自身文化、塑造和统一不同文化背景中受众的认识等重要作用。 相似文献
9.
樊明亚 《上饶师范学院学报》2002,22(1):46-49
我国逻辑界对复合命题的定义、选言命题的定义以及不相容选言命题的身份这三个理论问题,有不同的观点。应从“真假决说”角度来定义复合命题;复合命题是其中还包含命题,而且其真假由所包含的命题决定的命题;应采取给联言命题、假言命题下定义同样的“反映说”方式来定义两种选言命题;相容选言命题是反映若干事物情况可以同存并且至少有一个存在的选言命题、不相容选言命题是反映若干事物情况不能同存,至少有一个而且至多有一个存在的选言命题;应持“两立说”来对待不相容选言命题,不能对V进行结合运算,这是f10这一真值函项本身的性质使然,不影响不相容选言命题的存在。 相似文献
10.
生物多样性与生态系统功能:内涵与外延 总被引:3,自引:0,他引:3
从不同层次探讨了生物多样性和生态系统功能的内涵与外延,在此基础上提出了进行生物多样性和生态系统功能研究的启示. 相似文献