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1.
2.
利用射频磁控溅射法在低阻Si,Si O2/Si以及Pt/Ti/Si O2/Si等不同衬底上制备了Pb(Zr0.8Ti0.2)O3薄膜.利用XRD,SEM等对薄膜的结构性能进行了分析,结果发现不同衬底对溅射制备的PZT薄膜的结构有很大影响.在Pt/Ti/Si O2/Si衬底上制备的PZT薄膜经600℃退火1h后,薄膜表面光滑、无裂纹,XRD分析显示PZT薄膜呈完全钙钛矿结构,测试PZT薄膜的电学性能,表明PZT薄膜具有良好的介电性能. 相似文献
3.
衬底温度对ZnCoCuO蒸镀膜结构和性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
用X射线衍射方法分析了在Si(001)衬底上电子束蒸镀制备的Zn0.84Co0.15Cu0.01O薄膜的结构特征,测量了薄膜的磁性质,研究了衬底温度对薄膜晶体结构及磁性能的影响。实验发现,衬底温度在350~500℃的范围内,薄膜都具有室温铁磁性,而且在(002)晶面取向有极大值,饱和磁化强度和剩磁随衬底温度增加近于单调减小。 相似文献
4.
5.
6.
刘根洪 《苏州大学学报(医学版)》1995,11(2):8-13
The main result of this paper is a theorem about the. convexity of curves of degree n on a plane. As its application ,we obtained a sufficient condition that a space curve of degree n in R3 has no singularity points and staying points. 相似文献
7.
磁控溅射法在SrTiO_3单晶衬底上外延生长的YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜有很好的轴向晶格匹配。Zr(Y)O_2单晶衬底上YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜,由于膜和衬底的晶格常数失配较大,外延生长不是轴向晶格匹配,而是膜晶体绕c轴旋转45°后,实现与衬底的[110]方向晶格 相似文献
8.
本工作用射频溅射法制备出非晶和微晶锗氢膜(a-Ge:H和μc-Ge:H)。研究了衬底温度对薄膜光学、电学及结构性能的影响。结果表明:衬底温度Ts<290℃,沉积出a-Ge:H膜;Ts≥290℃沉积出μc-Ge:H膜。其结构、光电性能均当Ts≥290℃时有明显的变化。 相似文献
9.
衬底温度对纳米硅薄膜结构性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在等离子体化学气相沉积系统中采用高氢稀释硅烷蚀刻法制备了纳米硅薄膜。系统地研究了衬底温度对nc-Si:H薄膜的结构性能的影响。结构表明随着衬底温度从240℃升高到320℃,薄膜的晶态率从24%增大为65%,平均晶粒尺寸从6nm增大为10nm。当衬底温度≤200℃时,生成薄膜为a-Si:H薄膜。文中还对纳米硅薄膜的晶化机制进行了讨论。 相似文献
10.
本文报导用Tl2Ba2CaCu2外延超导薄膜在LaAlO3补底上研制的台阶结及其特性,在液氮温度下,当台阶结受到9.20GHz的微波辐照时,从I-V曲线上可以观察到第九级夏皮诺微波感应台阶、在液氮温度下,台阶结的临界随外磁场的变化较好地附合夫琅和费衍射关系。 相似文献