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介绍了一组测量分析表面形貌的仪器系统，并对系统的建立和参数选用了详细说明，此系统除可精确测量磨损量外，还可运用现代数字信号处理技术对表面信号进行更深入的探讨，对于研究磨损表面形貌变化规律具有较强的实用性，同时对其它有关微观形貌变化研究领域提供可靠手段。 相似文献
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