半导体传感器在真空测量技术上的应用

根据热传导真空计原理,利用半导体的感温特性制成一种新的测量真空度的半导体传感器真空规管,并将它作为测量电桥的一臂对该规管的真空性能进行了试验。结果表明,此种新型规管在760～10~(-5)托压强变化范围内有较高的灵敏度,可望作为测量从粗真空到高真空宽量程的真空规管。     

半导体P-N结型真空规

本文介绍在φ26mm和φ32mm N型硅片上扩散形成P-N结和电阻网络加热器,将其制成的规管接入真空系统,用U型计,复合真空计进行对比测量,得到在760～10~(-4)托范围内的校正曲线,可望作为真空测量的一种新量规。