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椭偏术测定吸收薄膜的n、k、d值-多入射角法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了一种多入射角椭偏术无损测定吸收薄膜n、 k、 d的方法(QWD-84法)。叙述了它的基本原理和数据处理方法,探讨了测定技术中的几个要点,给出了测定流程图,并对玻璃和硅衬底的一些吸收薄膜进行了测定和比较。测定结果表明:该法是一种一次性无损实测吸收薄膜n、k、d值的有效方法,它系统可靠、方便易行,对薄膜参数的测定和成膜工艺的研究有较重要的价值。 相似文献
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