SD—3离子束刻蚀试验机

从1977年开始对离子束刻蚀作了一些初步地探索。先后做过束径为φ20mm,φ84mm和φ135mm的离子束刻蚀装置,并作了一些刻蚀试验,取得了初步的成效。本文介绍束径为φ135mm,立式、风冷、两维旋转水冷工作台的离子束刻蚀试验机的设计、调试、性能和刻蚀试验的初步结果。     

应用离子束刻蚀技术提高石英晶体谐振器基频的研究

本文介绍应用离子束刻蚀技术减薄石英晶片,把石英晶体谐振器的基频提高到60～300MH_z。给出了基频及其泛音的动态参数。谐振器具有较小的等效电阻,一般为15～50欧姆(基频),较高的Q值,一般为20000～70000(基频),较好的频谱特性,正常的频率温度特性和良好的机械强度。     

多种元素离子源

为了适应多种元素离子注入的需要,研制了一种多元素离子源。离子源的工作温度范围较宽,最高可以达到14O0℃,能够产生多种元素的离子,将蒸发炉和放电室结合在一起,使结构比较简单。现已产生了汞、铋、金三种重元素的离子,束流一般可达200μA,能量分散度在20～50ev范围内。当束流在50μA时,束的归一化亮度可达10~(11)A·m~(-2)·rad~(-2),在最佳情况下可达10~(12)A·?~(-2)·rad~(-2)。质谱分析表明,汞、铋、金三种离子含量都在90%以上。最高引出电压为30KV。     

μ—e 衰变平均寿命的简易测定

(一)装置1.装置的简图及工作原理宇宙射线穿过12厘米厚的铅之后,其中软成分多被吸收,剩下的主要是μ介子,μ介子穿过计数管组 A 时(以下简称 A),A 送出负脈冲,经延迟线路(1),使脉冲延迟了时间 T_1;μ介子在穿过 A 之后,接着进入4.5厘米厚的铅中,被阻止,经过时间 t 后,衰变为 e,e 经过计数管组 B(以下简称 B)时,B 送出负脉冲,经过延迟线路